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CIF勻膠旋涂?jì)x

簡(jiǎn)要描述:CIF 推出的旋涂機系列產(chǎn)品轉速穩定、啟動(dòng)迅速,旋涂均勻,操作簡(jiǎn)單,結構緊湊實(shí)用,為實(shí)驗室提供了理想的解決方案。

  • 產(chǎn)品型號:MSC/SC1/2
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2024-07-03
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:7195

詳細介紹

品牌CIF

產(chǎn)品特點(diǎn)

◆  采用閉環(huán)控制伺服電機,數字式增速信號反饋,速勻準確,壽命長(cháng),保證勻膠均勻。

  7 寸全彩中英文互動(dòng)操作觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標配 10 個(gè)勻膠梯度階段(速度和時(shí)間梯度設置 , 選配 20 個(gè)可編程程序,每個(gè)程序下可設置 10 個(gè)勻膠梯度階段,最多 100 個(gè)階段。

  內置水平校準裝置,大限度的保證旋涂均勻,可對大小不同規格的基片進(jìn)行旋涂。

◆  多重安全保護電磁安全開(kāi)關(guān),蓋子打開(kāi)卡盤(pán)停止,保證安全;蓋子自鎖功能,防止飛片蓋彈開(kāi)傷人;

雙重安全上蓋,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,大限度保證實(shí)驗人員安全。

◆  樣品托盤(pán)卡口和樣品托盤(pán)之間三重密封安全保護,有效降低電機進(jìn)膠的風(fēng)險。

◆  一機兩用,根據不同樣品可選真空吸盤(pán)和非真空卡盤(pán)兩種旋涂方式。

◆  符合人體功能學(xué)的水平取放樣品旋涂托盤(pán)設計,取放樣品更方便。

  不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,旋涂腔體采用 PTFE 材料。旋涂托盤(pán)采用聚丙烯(NPP-H)材料,耐酸堿防腐蝕,保證儀器 在苛刻條件下仍能正常運行。

◆  上下雙腔體設計,較大的上腔體便于擦拭去除膠液,錐形下腔體結構設計便于收集膠液,并帶廢膠收集裝置。

◆  可選氮氣吹掃、氮氣保護,自動(dòng)滴膠或簡(jiǎn)易滴膠裝置,提供更多的操作便利性。

◆  適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP 等多種材料。

 技術(shù)參數

 

型號

MSC

SC1

SC2

轉速

0-10000rpm

0-10000rpm

0-10000rpm

加速度

0-10000rpm/s

0-10000rpm/s

0-10000rpm/s

轉速穩定度

±1%

±1%

±1%

勻膠時(shí)間

0-9999s

0-9999s

0-9999s

工作艙直徑

直徑 180mm

直徑 180mm

直徑 240mm

基片尺寸

圓片 Φ=6 吋,方片最大 105x105mm

圓片 Φ=6 吋,方片最大 105x105mm

圓片 Φ=8 吋,方片最大 140x140mm

外型尺寸

L245xW325xH215mm

L245xW325xH285mm

L305xW385xH285mm

包裝尺寸

L365xW445xH335mm

L365xW445xH405mm

L425xW505xH405mm

整機重量

6.3Kg

7.6Kg

11.6Kg

 

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