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勻膠機

簡(jiǎn)要描述:Spin Coater勻膠機進(jìn)行滴膠就是簡(jiǎn)單地把光刻膠滴注到靜止的基片表面的中心,滴膠量為1-10ml不等。滴膠的多少應根據光刻膠的粘度和基片的大小來(lái)確定。粘度比較高和/或基片比較大,往往需要滴較多的膠,以保證在高速旋轉階段整個(gè)基片上都涂到膠。動(dòng)態(tài)滴膠方式是在基片低速(通常在500轉/分左右)旋轉的同時(shí)進(jìn)行滴膠,“動(dòng)態(tài)"的作用是讓光刻膠容易在基片上鋪展開(kāi),減少光刻膠的浪費,采用動(dòng)態(tài)滴膠不需要很多光刻膠就能潤濕(鋪展覆蓋)整個(gè)基片表面。尤其是當光刻膠或基片本身潤濕性不好的情況下,動(dòng)態(tài)滴膠尤其適用,不會(huì )產(chǎn)生針孔。

  • 產(chǎn)品型號:CIF Spin Coater
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2024-07-03
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:3690

詳細介紹

品牌CIF價(jià)格區間10萬(wàn)-30萬(wàn)
產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)應用領(lǐng)域醫療衛生,環(huán)保,食品,化工,農業(yè)
  CIF-Spin Coater勻膠機進(jìn)行滴膠就是簡(jiǎn)單地把光刻膠滴注到靜止的基片表面的中心,滴膠量為1-10ml不等。滴膠的多少應根據光刻膠的粘度和基片的大小來(lái)確定。粘度比較高和/或基片比較大,往往需要滴較多的膠,以保證在高速旋轉階段整個(gè)基片上都涂到膠。動(dòng)態(tài)滴膠方式是在基片低速(通常在500轉/分左右)旋轉的同時(shí)進(jìn)行滴膠,“動(dòng)態(tài)”的作用是讓光刻膠容易在基片上鋪展開(kāi),減少光刻膠的浪費,采用動(dòng)態(tài)滴膠不需要很多光刻膠就能潤濕(鋪展覆蓋)整個(gè)基片表面。尤其是當光刻膠或基片本身潤濕性不好的情況下,動(dòng)態(tài)滴膠尤其適用,不會(huì )產(chǎn)生針孔。
 

Spin Coater

 

  滴膠之后,下一步是高速旋轉。使光刻膠層變薄達到要求的膜厚,這個(gè)階段的轉速一般在1500-6000轉/分,轉速的選定同樣要看光刻膠的性能(包括粘度,溶劑揮發(fā)速度,固體含量以及表面張力等)以及基片的大小??焖傩D的時(shí)間可以從10秒到幾分鐘。勻膠的轉速以及勻膠時(shí)間往往能決定膠膜的厚度。
  一般來(lái)說(shuō),勻膠轉速快,時(shí)間長(cháng),膜厚就薄。影響勻膠過(guò)程的可變因素很多,這些因素在勻膠時(shí)往往相互抵銷(xiāo)并趨于平衡。所以建議給予勻膠過(guò)程以足夠的時(shí)間,讓諸多影響因素達到平衡。
 
  Spin Coater勻膠機產(chǎn)品特點(diǎn):
  1.采用閉環(huán)控制伺服電機,數字式增速信號反饋,速勻準確,壽命長(cháng),保證勻膠均勻。
  2.5寸全彩觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標配10個(gè)勻膠梯度階段(速度和時(shí)間梯度設置),可選配10個(gè)可編程程序,每個(gè)程序下可設置10個(gè)勻膠梯度階段,多100個(gè)階段。
  3.內置水平校準裝置,大限度的保證旋涂均勻,可對大小不同規格的基片進(jìn)行旋涂。
  4、多重安全保護
  電磁安全開(kāi)關(guān),蓋子打開(kāi)卡盤(pán)停止,保證安全;蓋子自鎖功能,防止飛片蓋彈開(kāi)傷人;雙重安全上蓋,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,大限度保證實(shí)驗人員安全。
  5.一機兩用,根據不同樣品可選真空吸盤(pán)和非真空卡盤(pán)兩種旋涂模式。
  6.不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,PTFE旋涂腔體,聚丙烯(NPP-H)旋涂托盤(pán),PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋,耐酸堿防腐蝕,保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。
  7.勻膠機適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP 等多種材料。
 
  CIF-Spin Coater勻膠機技術(shù)參數:
 

型號

轉速(轉/分)

轉速穩定度

勻膠時(shí)間

旋涂基片尺寸mm

外型尺寸(LxWxH)mm

SC1

50-10000

±1%

0-2000S

圓片Φ5-Φ100,方片大100x100

310x260x250

 

 

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