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CIF勻膠機

簡(jiǎn)要描述:CIF勻膠機轉速穩定、啟動(dòng)迅速,旋涂均勻,操作簡(jiǎn)單,結構緊湊實(shí)用,為實(shí)驗室提供了理想的解決方案。廣泛應用于微電子、半導體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué),硅片、載玻片,晶片,基片,ITO 導電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

  • 產(chǎn)品型號:SC1
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2024-07-03
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:2869

詳細介紹

價(jià)格區間5萬(wàn)-10萬(wàn)產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)
應用領(lǐng)域醫療衛生,環(huán)保,食品,化工

CIF勻膠機

 

CIF勻膠機轉速穩定、啟動(dòng)迅速,旋涂均勻,操作簡(jiǎn)單,結構緊湊實(shí)用,為實(shí)驗室提供了理想的解決方案。廣泛應用于微電子、半導體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué),硅片、載玻片,晶片,基片,ITO 導電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

勻膠機產(chǎn)品特點(diǎn)

采用閉環(huán)控制伺服電機,數字式增速信號反饋,速勻準確,壽命長(cháng),保證勻膠均勻。

5寸全彩觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標配10個(gè)勻膠梯度階段(速度和時(shí)間梯度設置),可選配10個(gè)可編程程序,每個(gè)程序下可設置10個(gè)勻膠梯度階段,多100個(gè)階段。

內置水平校準裝置,大限度的保證旋涂均勻,可對大小不同規格的基片進(jìn)行旋涂。

多重安全保護

電磁安全開(kāi)關(guān),蓋子打開(kāi)卡盤(pán)停止,保證安全;

蓋子自鎖功能,防止飛片蓋傷人;

雙重安全上蓋,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,大限度保證實(shí)驗人員安全。

一機兩用,根據不同樣品可選真空盤(pán)和非真空卡盤(pán)兩種旋涂模式。

不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,PTFE旋涂腔體,聚丙烯(NPP-H)旋涂托盤(pán),PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋,耐酸堿防腐蝕,保證儀器苛刻條件下能正常運行。

適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP 等多種材料。

勻膠機技術(shù)參數

 

型號

轉速(轉/分)

轉速穩定度

勻膠時(shí)間

旋涂基片尺寸mm

外型尺寸(LxWxH)mm

SC1

50-10000

±1%

0-2000S

圓片Φ5-Φ100,方片大100x100

310x260x250


勻膠機使用注意事項:
(1)在旋轉涂膠中,轉速是最重要的因素之一,通常決定了最終的膠膜厚度。較小的速度變化就能導致膠膜厚度較大的變化。旋轉速度過(guò)高或過(guò)低都會(huì )使基片涂膠失敗。因此提供勻膠轉速用的電機控制精度要求非常高。
 
(2)加速度對涂膠的均勻性有著(zhù)重要的影響。在涂膠環(huán)節的一部分,膠液開(kāi)始變干,準確地控制加速度十分重要,膠液中50%的溶劑在加速過(guò)程中汽化蒸發(fā)。旋轉過(guò)程提供了一個(gè)離心力(向外)給膠液,加速度提供給膠液扭曲力,此力使膠液均勻通過(guò)和覆蓋基本表面。最終形成的膠膜均勻性與適當的加速度密切相關(guān)。
 
(3)涂膠工藝受到腔體環(huán)境(排風(fēng)、氣流等)的影響。在涂膠過(guò)程中膠液的揮發(fā)烘干速度取決于液體本身的自然屬性,也受到涂膠過(guò)程中晶圓片周?chē)諝馇闆r的影響。涂膠過(guò)程中特別重要的一點(diǎn)是涂膠腔體內氣體的流動(dòng)和與之相關(guān)的亂流要減到最小。通過(guò)腔體的排風(fēng)系統可以減少不希望的亂流,這樣可以使液體凝固速度減緩,同時(shí)使對外界溫濕度的敏感性減少。
 
(4)膠液的準確供應對提高成品率及降低成本有很重要的意義。膠液不足造成無(wú)法覆蓋全片,太多則對膠膜質(zhì)量有影響且造成浪費。
 

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