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勻膠勻膠機的工藝特點(diǎn)

更新時(shí)間:2024-03-28       點(diǎn)擊次數:1134
  勻膠勻膠機是一種常見(jiàn)用于材料薄膜制備工藝的實(shí)驗室設備,它的原理相對比較簡(jiǎn)單,利用電機高速旋轉時(shí)所產(chǎn)生的離心力使得試液或者膠液均勻地涂敷在基底材料的表面,顧名思義,一種可以“讓膠液均勻涂敷的機器”。
 
  按自動(dòng)化程度可分為:
 
  a)自動(dòng)勻膠設備;b)半自動(dòng)勻膠設備。
 
  2按有無(wú)烘干方式分為:
 
  a)帶烘干裝置的勻膠設備;b)不帶烘干裝置的勻膠設備。
 
  3按加工基片幾何形狀可分為:
 
  a)圓片勻膠設備;b)方片勻膠設備。
 
  勻膠勻膠機的工藝特點(diǎn)要求硅片在托盤(pán)真空吸力的作用下隨主軸一起高速旋轉,因此勻膠托盤(pán)的幾何參數將對被吸附的硅片形變產(chǎn)生一定的影響,而過(guò)大的硅片形變將影響其表面形貌和平面度,從而影響光刻膠的均勻性。通過(guò)數值解和解析解,指出隨著(zhù)勻膠膜厚的變薄,其受表面形貌的影響將增大;通過(guò)數學(xué)模型和計算機模擬分析了離心轉數等參數對旋涂性能的影響規律,并通過(guò)實(shí)驗分析指出基底不平將直接導致涂膠均勻性變差,從而使集成電路芯片顯影后線(xiàn)條黑白比改變。

 

勻膠勻膠機

 

  控制和顯示:
 
  1.非常方便設定處理速度和加速度程序段;可設置順序循環(huán)控制;
 
  2.顯示精度控制在設定值的0.006%以?xún)龋?br /> 
  3.操作者可隨時(shí)隨地自由實(shí)現人機交互。
 
  勻膠勻膠機既然是科研開(kāi)發(fā)上制備薄膜材料*的方法之一使用者對于該設備大的期待就在于其能夠“均勻”地涂敷試液或者膠液。通常我們會(huì )用均一性和可重復性來(lái)衡量薄膜材料制備的好壞。
 
  勻膠勻膠機產(chǎn)品特點(diǎn):
 
  *采用閉環(huán)控制伺服電機,數字式增速信號反饋,速勻準確,壽命長(cháng),保證勻膠均勻。
 
  *5寸全彩觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標配10個(gè)勻膠梯度階段(速度和時(shí)間梯度設置),可選配10個(gè)可編程程序,每個(gè)程序下可設置10個(gè)勻膠梯度階段,最多100個(gè)階段。
 
  *內置水平校準裝置,限度的保證旋涂均勻,可對大小不同規格的基片進(jìn)行旋涂。
 
  *多重安全保護
 
  電磁安全開(kāi)關(guān),蓋子打開(kāi)卡盤(pán)停止,保證安全;
 
  蓋子自鎖功能,防止飛片蓋彈開(kāi)傷人;
 
  雙重安全上蓋,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,限度保證實(shí)驗人員安全。
 
  *一機兩用,根據不同樣品可選真空吸盤(pán)和非真空卡盤(pán)兩種旋涂模式。
 
  *不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,PTFE旋涂腔體,聚丙烯(NPP-H)旋涂托盤(pán),PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋,耐酸堿防腐蝕,保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。
 
  *適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP 等多種材料。
 

勻膠勻膠機

 

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